| |
Формирование наноразмерных элементов затворов СВЧ-транзисторов методом ионно-лучевой литографии [Текст] / К. К. Лаврентьев, В. К. Неволин, Р. Ю. Розанов [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 6. – С. 591-597.
Изложена методика формирования наноразмерного затвора мощного СВЧ-транзистора. Определены оптимальные параметры экспонирования резистов 950-ПММА-А2 и ЭЛП-20. |
