| |
Влияние переноса ионов Ag^+ на локализацию металл-стимулированного травления поверхности кремния [Текст] / О. В. Пятилова, А. В. Сыса, С. А. Гаврилов [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 6. – С. 582-589.
Исследованы особенности создания 3D-структур кремния путем локального формирования жертвенного слоя пористого кремния жидкостным травлением с использованием пленок серебра толщиной 50 и 100 нм в качестве катализатора. |
