| |
Автофокусировка в установках автоматизированного контроля дефектов топологического рисунка фотошаблонов и полупроводниковых пластин [Текст] / С. Аваков, А. Безлюдов, Н. Гайков [и др.]
// Электронные компоненты. – 2015. – № 10. – С. 125-128.
Предложена система автофокусировки, обеспечивающая удержание поверхности объекта в зоне резкости объектива при последовательном сканировании топологии. |
