| |
Калинин, С. В.
Двумерное моделирование процесса термического окисления непланарных кремниевых поверхностей [Текст] / С. В. Калинин, А. В. Егоркин
// Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 2. – С. 134-146.
Проведен анализ двумерных моделей термического окисления кремния, выявлена наиболее корректная модель, достаточно точно описывающая различные эффекты, возникающие при термическом окислении непланарных кремниевых поверхностей. В процессе моделирования необходимо учитывать влияние ряда нелинейных механических эффектов. Проведена калибровка модели. |
