| |
Жавжаров, Е. Л.
Формирование нанопленок Cu, Ag, Au под воздействием атомов водорода [Текст] / Е. Л. Жавжаров, В. М. Матюшин
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2015. – № 5-6. – С. 41-44.
Предложено два метода, позволяющих контролируемо получать пленки металлов толщиной 1-20 нм при вакууме в камере порядка 20 Па. |
