| |
Тензорезистивные МЭМС-преобразователи давления и модули на их основе [Текст] / Д. В. Гусев, Н. Л. Данилова, Р. С. Литвиненко [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 5. – С. 511-515.
Представлены результаты разработки группы тензорезистивных преобразователей давления, изготовленных по технологии объемной микрообработки кремния. |
