| |
Распределение температуы по длине термомеханического актюатора [Текст] / С. П. Тимошенков, В. К. Самойликов, С. С. Евстафьев [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 4. – С. 397-404.
Представлены результаты разработки и исследования характеристик микрозеркального элемента, приводимого в движение тепловыми микроактюаторами. |
