| |
Кузнецов, В. И.
Атомно-слоевое осаждение: реакторы и применение [Текст] / В. И. Кузнецов
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 4. – С. 365-376.
Рассмотрены принципы и типы атомно-слоевого осаждения (АСО). Показано, что АСО востребовано благодаря своей точности на атомном уровне для контроля толщины и состава пленки. Статья на английском языке. |
