|
Вигдорович, Е. Н. Возможности улучшения функциональных характеристик нитрида галлия при эпитаксии из газовой фазы [Текст] / Е. Н. Вигдорович // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 4. – С. 350-356.
Проведен теоретический анализ механизмов кристаллизации нитрида галлия в процессе газофазной эпитаксии. |