| |
Авров, Д. Д.
Основные дефекты в слитках и эпитаксиальных слоях карбида кремния. 1. Дислокационная структура и морфологические дефекты [Текст] / Д. Д. Авров, А. О. Лебедев, Ю. М. Таиров
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 3. – С. 225-238.
На основании зарубежных литературных источников последних лет и с учетом опыта авторов просуммированы наиболее важные сведения о дефектах в карбиде кремния, причинах их появления и свойствах, о современном уровне исследований дефектов и их влиянии на приборные характеристики. |
