|
Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста [Текст] / Д. А. Заярный, А. А. Ионин, С. И. Кудряшов [и др.] // Квантовая электроника. – 2015. – Т. 45, № 5. – С. 462-466.
Экспериментально исследованы особенности абляции тонкой серебряной пленки со слоем высокопрозрачного фоторезиста толщиной 1 мкм и без него под действием одиночных жесткосфокусированных фемтосекундных лазерных импульсов излучения видимого диапазона (515 нм) диапазона. |