| |
О возможности создания проекционной рентгеновской фотолитографической технологии [Текст] / С. М. Аранчий, К. М. Крымский, М. И. Крымский [и др.]
// Радиотехника и электроника. – 2015. – Т. 60, № 3. – С. 325-328.
Исследованы практические перспективы реализации проекционной рентгеновской фотолитографической технологии на базе сочетания CO2-лазерной плазмы и многослойных рентгеновских отражателей для диапазона длин волн 3...30 нм. |
