|
Дормидонтов, А. Н. Влияние нестационарных воздействий на концентрационную микронеоднородность при выращивании кристаллов методом вертикальной направленной кристаллизации [Текст] / А. Н. Дормидонтов // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2015. – Т. 20, № 1. – С. 17-22.
Исследовано влияние нестационарных воздействий в ростовой установке на образование концентрационных микронеоднородностей примеси в кристаллах, выращенных методом вертикальной направленной кристализации. |