|
Оценка параметров чувствительности КМОП БИС по одиночным тиристорным эффектам при лазерном воздействии со стороны подложки [Текст] / А. А. Печенкин, Д. В. Савченков, О. Б. Маврицкий [и др.] // Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 1. – С. 41-48.
Представлены результаты расчетно-экспериментального моделирования одиночных тиристорных эффектов при воздействии сфокусированного лазерным излучением с тыльной стороны кристалла - со стороны подложки. Проанализированы возможности применения методики локального облучения для оценки эквивалентных потерь энергии заряженных частиц в случае лазерного воздействия со стороны подложки. |