| |
Учет направления поляризации лазерного излучения при моделировании эффектов локальной ионизации в современных интегральных схемах [Текст] / П. К. Скоробогатов, А. В. Согоян, Г. Г. давыдов [и др.]
// Микроэлектроника. – 2015. – Т. 44, № 1. – С. 28-33.
Проведена расчетно-экспериментальная оценка влияния направления поляризации лазерного излучения (ЛИ) на ионизационный отклик БИС ЗУ, изготовленной по КМОП-технологии с проэктными нормами 0,18 мкм. Проведены сравнительные исследования влияния поляризации ЛИ как при локальном воздействии, так и при воздействии на весь кристалл. Обоснована необходимость учета направления поляризации ЛИ при моделировании локальных ионизационных эффектов. |
