| |
Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Ч. 2.: Эксперимент [Текст] / А. С. Гаркавенко, В. А. Мокрицкий, О. В. Банзак, В. А. Завадский
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2014. – № 5-6. – С. 51-56.
При облучении полупроводниковых кристаллов мощными импульсными электронными пучками высоких энергий обнаружен новый вид отжига, названный авторами ионизационным. |
