| |
Ионизационный отжиг полупроводниковых кристаллов. Ч. 1. Теоретические предпосылки [Текст] / А. С. Гаркавенко, В. А. Мокрицкий, О. В. Банзак, В. А. Завадский
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2014. – № 4. – С. 50-55.
При облучении полупроводниковых кристаллов мощными импульсными электронными пучками высоких энергий получен новый вид отжига, названный автором "ионизационным". |
