| |
Колпаков, В. А.
Измерение чистоты поверхности подложек методом трибометрии [Текст] / В. А. Колпаков, Н. А. Ивлиев
// Приборы и техника эксперимента. – 2014. – № 5. – С. 129-134.
Описано трибометрическое устройство, предназначенное для экспресс-контроля концентрации атомно-молекулярных загрязнений на поверхности полупроводниковых и диэлектрических подложек. |
