| |
Кравченко, Ю. С.
Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології [Текст] / Ю. С. Кравченко, О. О. Селецька
// Вісник Хмельницького національного університету. – 2014. – № 6. – С. 256-261.
Показано, що застосування в процесі моніторингу процесу плазмохімічного травлення фазового детектування сигналу дозволяє значно зменшити шумову його складову і дає практичну можливість використовувати оптичний актинометричний метод для контролю процесу травлення малих площин. |
