| |
Левин, Г. Г.
Автоматизированный интерференционный микроскоп для измерения динамических объектов [Текст] / Г. Г. Левин, Г. Н. Вишняков, В. Л. Минаев
// Приборы и техника эксперимента. – 2014. – № 1. – С. 79-84.
Описан автоматизированный интерференционный микроскоп, реализующий метод фазовых шагов в динамическом режиме при непрерывном движении зеркала опорного канала. Микроскоп предназначен для измерения высоты профиля поверхности отражающих нестационарных во времени объектов с погрешностью до 0.3 нм. |
