| |
Спирин, В. Г.
Микросборка на кремниевой плате для акселерометра [Текст] / В. Г. Спирин
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2013. – № 5. – С. 24-27.
Рассмотрена конструкция и технология микросборки для акселерометра, выполненой на кремниевой плате с тремя уровнями коммутации и тонкопленочными резисторами на обеих поверхностях |
