| |
Автоэмиссия из наноструктур на основе карбида кремния и влияние на нее образующихся субоксидных SiO_x-покрытий. II. Эмиссионные свойства SiC-нанопротрузий [Текст] / П. Г. Бобовников, А. С. Ермаков, И. В. Матюшкин [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 5. – С. 3-13.
Рассмотрено влияние кислорода на деградацию SiC-микрокатода в условиях плохого вакуума. Приведены результаты экспериментов по CVD-пленкам SiC, подвергшимся отжигу в среде N_2 и H_2. |
