|
МЭМС-переключатели в радиочастотной электронике. II. Состояние разработок и перспективы [Текст] / В. А. Беспалов, Э. А. Ильичев, А. Е. Кулешов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 4. – С. 61-74.
Представлен обзор существующих разработок радиочастотных микроэлектромеханических переключателей (РЧ МЭМС). |