| |
Кузнецов, Е. В.
Исследование чувствительности pH-сенсоров на основе кремниевых МДП-нанотранзисторов [Текст] / Е. В. Кузнецов, О. В. Чуйко
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 3. – С. 53-59.
Проведен анализ различных кремниевых ISFET-транзисторв. Показано. что "подвешенные" нанопроволочные структуры собственного типа проводимости с минимальным возможным диаметром и максимальной емкостью затворного окисла имеют наибольшую чувствительность. |
