| |
Вернер, В. Д.
СВЧ-совмещенные структуры с прямыми и обращенными ультратонкими эмиттерными областями [Текст] / В. Д. Вернер, Н. М. Луканов, А. Н. Сауров
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 3. – С. 21-27.
Показано, что граничная частота усиления и максимальная частота генерации, равные 500 ГГц, достигаются при использовании самосопряженных псевдолитографических масок и уменьшении паразитных емкостей и сопротивлений. Даны методы создания прямых и обращенных предельно узких эмиттерных областей, легированных As. |
