| |
Старков, А. В.
Метод оценки искажений топологии для детальной трассировки нанометровых СБИС [Текст] / А. В. Старков
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 2. – С. 54-58.
Рассмотрены существующие подходы к решению проблемы коррекции искажений топологии вследствие оптичной близости. |
