| |
Кислицин, М. В.
Исследование процесса формирования пленки оксида кремния из раствора тетраэтоксисилана золь-гель методом [Текст] / М. В. Кислицин, М. А. Королёв, А. Ю. Красюков
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 2. – С. 17-22.
Показано, что пленки оксида кремния, выращеные по оптимизированному технологическому маршруту, по электрическим параметрам близки к характеристикам термического оксида кремния. |
