| |
Долгий, Л. Н.
Технология формирования и электрические характеристики полевого датчика Холла на основе КНИ-структуры [Текст] / Л. Н. Долгий, И. Ю. Ловшенко, В. В. Нелаев
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2013. – № 1. – С. 3-9.
Проведено моделирование технологического маршрута формирования магниточувствительной структуры, представляющей собой полевой датчик Холла на основе МОП-транзистора в КНИ-структуре.Рассчитаны электрические характеристики и проведены исследования влияния технологических параметров формирования на вольт-амперные характеристики и чувствительность структуры . |
