| |
Быстродействующий вакуумно-эллипсометрический комплекс [Текст] / В. А. Швец, С. В. Рыхлицкий, Е. В. Спесивцев, В. Ю. Прокопьев
// Приборы и техника эксперимента. – 2012. – № 2. – С. 163-164.
Описан вакуумно-эллипсометрический комплекс для изучения свойств пленок в ходе быстрого (импульсного) высокотемпературного нагрева. |
