| |
Быстродействующий in situ эллипсометр [Текст] / С. В. Рыхлицкий, Е. В. Спесивцев, В. А. Швец, А. Г. Борисов
// Приборы и техника эксперимента. – 2012. – № 1. – С. 160-161.
Описан быстродействующий in situ эллипсометр, предназначенный для использования при синтезе многослойных гетероэпитаксиальных наноструктур в сверхвысоковакуумных установках методом молекулярно-лучевой эпитаксии. |
