| |
Опыт изготовления прецизионных фотошаблонов с применением высокоточных генераторов изображения [Текст] / В. А. Беспалов, В. А. Овчинников, Н. И. Сидоренко [и др.]
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2012. – № 2. – С. 55-60.
Представлен опыт применения многолучевого лазерного генератора изображения и электронно-лучевого генератора изображения с изменяемой геометрией луча для переноса изображений топологического рисунка интегральной схемы. |
