|
Горев, Н. Б. Диагностика глубоких центров на границе "пленка-подложка" в тонкопленочных экспитаксиальных структурах GaAs [Текст] / Н. Б. Горев, И. Ф. Коджеспирова, Е. Н. Привалов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2010. – № 4. – С. 53-56.
Предложен простой метод определения незаполненных глубоких центров вблизи границы "пленка-подложка". |