| |
Пинтус, С. М.
Роль волновых явлений в процессе обработки кристаллов алмаза [Текст] / С. М. Пинтус, В. Ю. Карасёв, Е. В. Гладченков
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 6. – С. 430-440.
Изложены основные положения новой физической модели волнового возмущения кристаллов алмаза при их механической обработке по специальным алгоритмам. |
