|
| | |
Использование многофункционального рентгеновского рефлектометра для анализа твердотельных структур микро- и наноэлектроники [Текст] / Н. Н. Герасименко, Д. И. Смирнов, А. Г. Турьянский, Н. А. Медетов
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 5. – С. 99-105.
|
| |
|
