| |
Емельянов, А. В.
Влияние режимов формирования барьерного слоя на надежность систем металлизации ИС [Текст] / А. В. Емельянов, В. А. Емельянов, С. Ф. Сенько
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 5. – С. 344-350.
Проведены сравнительные испытания надежности систем металлизации с барьерными слоями кремния, сформированными в различных условиях. |
