| |
Ивентичев, М. Ю.
Об определении вероятности гетерогенной рекомбинации атомов хлора на конструкционных материалах плазмохимических реакторов [Текст] / М. Ю. Ивентичев, Д. В. Ситанов, В. И. Светцов
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 5. – С. 339-343.
С применением релаксационной импульсной методики совместно абсорбционной спектроскопией изучена рекомнация атомов в плазме хлора на поверхности плазмохимического реактора из молибденового стекла и в присутствии образцов нержавеющей стали. |
