| |
Роль пластической деформации в получении нанокремния [Текст] / В. А. Смынтына, А. О. Кулинич, И. Р. Яцунский, И. А. Марчук
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2011. – № 1-2. – С. 22-24.
Проведен качественный и количественный анализ связи пластической деформации поверхности и приповерхностной области кремния с получением наноструктурированного кремния. |
