| |
Вяткин, А. Ф.
Диагностика отказов интегральных микросхем с использованием физического ионного распыления [Текст] / А. Ф. Вяткин, В. И. Зиненко
// Приборы и техника эксперимента. – 2011. – № 2. – С. 132-136.
Представлен способ вскрытия интегральных микросхем (и.с.) с фронтальной стороны для поиска возможных дефектов. Способ основан на применении физического ионного распыления и обеспечивает прецизионное послойное удаление материала и.с., позволяет открывать и исследовать каждый слой металлизации без возмущающего влияния соседних слоев. |
