Електронний каталог науково-технічної бібліотеки
Вінницького національного технічного університету

ПРАВИЛА КОРИСТУВАННЯ ЕК
Пошук Відібрані Формуляр Опис документа
Сайт бібліотеки Сайт ВНТУ
          Галперин, В. А.
    Использование методов экспериментального и численного моделирования для исследования процесса сухого травления канавок в кремнии [Текст] / В. А. Галперин
    // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 3. – С. 26-34.

  УДК 533.932.12.915


            

Є складовою частиною документа Известия высших учебных заведений. Электроника [Текст] : научно-технический журнал. – 2011. – № 3.



Теми документа
Український Фондовий Дім Інформаційно-пошукова система
'УФД/Бібліотека'