|
| | |
Голишников, А. А.
Исследование процесса глубокого анизотропного плазменного травления кремния в парогазовой смеси с пониженной полимеризационной способностью [Текст] / А. А. Голишников, Д. А. Костюков, М. Г. Путря
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2011. – № 3. – С. 14-19.
|
| |
|
