|
| | |
Логвиненко, В.
Дослідження плазмохімічного травлення дісиліцидів тугоплавких металів [Текст] / В. Логвиненко, О. Кіщук
// Матеріали ІІ Міжнародної науково-технічної конференції "Сучасні проблеми мікроелектроніки, радіоелектроніки, телекомунікацій та приладобудування" (СПМРТП-2006) м. Вінниця, Україна 16-19 листопада 2006 року / МОН України; ВНТУ. – Вінниця : УНІВЕРСУМ-Вінниця, 2006. – С. 45-46.
|
| |
|
