| |
Жуков, В. А.
Преимущества использования в ионных микроскопах суперострийных источников Xe+ с полевой ионизацией газа [Текст] / В. А. Жуков, З. Калбитцер
// Микроэлектроника. – 2011. – Т. 40, № 1. – С. 21-29.
Рассматриваются преимущества использования в ионной микроскопии пучков сфокусированных ионов, полученых из суперострийных источников с полевой ионнизацией. |
