|
Ховерко, Ю. Н. Исследование стойкости слоев поликремния в КНИ-структурах при воздействии электронного облучения и сильного магнитного поля [Текст] / Ю. Н. Ховерко // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2010. – № 5-6. – С. 63-66.
Изучены свойства рекристаллизированных слоев поликремния на изоляторе в КНИ-структурах p-типа проводимости с различной концентрацией носителей заряда. |