| |
Тимошенков, С. П.
Методы сборки и монтажа макетных образцов микроэлектромеханических систем [Текст] / С. П. Тимошенков, А. Н. Бойко, Б. М. Симонов
// Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2010. – № 4. – С. 58-63.
Изложены результаты исследования и разработки технологических процессов и монтажа деталей МЭМС, использованные для изготовления работоспособных макетных образцов. |
