|
Низкотемпературный процесс формирования углеродных трубчатых и графеновых структур [Текст] / С. В. Дубков, С. А. Гаврилов, Д. Г. Громов, Г. А. Красулин // Известия высших учебных заведений. Электроника. – 2010. – № 4. – С. 28-32.
Рассмотрено формирование углеродных наноструктур методом химического осаждения из газовой фазы с использованием плазмы тлеючего разряда. |