Разработан компактный источник ионов газов, паров и ионов металлов и углерода на основе отражательного разряда с холодным полым катодом, в котором распыляемая ионами аргона с энергией до 10 кэВ плоская мишень диаметром 6 мм устанавливается на дне изолированного от нее полого катода.