|
Вивчення процесу синтезу нанокристалічних плівок двоокису титану в розряді магнетронного типу за його оптичними та плазмодинамічними характеристиками [Текст] / О. А. Гончаров, А. М. Євсюков, Є. Г. Костін, О. К. Фролова // Український фізичний журнал. – 2010. – Т. 55, № 6. – С. 677-684.
Наведено результати експерементального дослідження плазмодинамічних і оптичних характеристик циліндричного газового розряду магнетронного типу в умовах безперервного контролю спектра, випромінюваного плазмою в діапазоні 350-820 нм. |