| |
Васильев, Ю. К.
Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума [Текст] / Ю. К. Васильев, С. Б. Нестеров, Т. С. Васильева
// Технология и конструирование в электронной аппаратуре. – 2010. – № 2. – С. 47-51.
Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования - форвакуумных и высоковакуумных средств откачки. |
