|
Житарюк, В. Г. Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію [Текст] / В. Г. Житарюк, В. М. Годованюк, І. В. Докторович // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. – 2009. – № 1. – С. 137-140.
В роботі досліджується вплив іонного травлення поверхонь пластин кремнію на основні параметри фотодіодів, виготовлених на цих поверхнях. |