| |
Дуб, С. Н.
Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Ta-B-N [Текст] / С. Н. Дуб, А. А. Гончаров, В. В. Петухов
// Сверхтвердые материалы. – 2009. – № 2. – С. 3-11.
Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Ta-B-N на стальной подложке ВЧ-магнтронным реактивным распылением мишени ТаВ_2 в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. |
